傳感器的制造工藝主要有這四種分類：陶瓷型、厚膜型、集成型和薄膜型，具體如下：

1、陶瓷型

這種制造工藝是傳統材料的應用，所用陶瓷材料是精細陶瓷，也被稱為高科技陶瓷。主要是依靠標準的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝，完成適當的預備性操作之后，將成形的元件在高溫中進行燒結。

2、厚膜型

厚膜型和薄膜型是相對應，是在基片上形成膜來進行制造，兩者的區別是厚膜型傳感器是在陶瓷制造的基片上用敏感材料的漿料進行涂覆，而厚膜型的制造材料多是氧化鋁，涂層形成后進行熱處理，這樣厚膜即可成型。

3、集成型

這種生產工藝和生產標準硅基半導體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過集成方式進行制造后，可以獲得更小的體積并集成更多的功能，部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能，來處理被測量信號。

4、薄膜型

薄膜型制造涉及到納米等先進技術，齊制作方法是在介質襯底也就是基板上用敏感材料形成一層薄膜，在制作時也可以復合一些電路系統，這需要使用到混合工藝。

以上就是傳感器制造工藝的介紹。

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